產品名稱：Yaskawa XU-RSM 53 Series
產品編號：XU-RSM 53 Series
產品介紹
XU-RSM 53D0應用機型：
Ebara CMP FREX300X Wet Robot
XU-RSM 5330應用機型：
Ebara CMP Wet Robot
| 型式 | Repair | Overhaul | Exchange |
| Yaskawa XU-RSM 53D0 |  | | |
| Yaskawa XU-RSM 5330 | | |
XU-RSM 53D0應用機型：
Ebara CMP FREX300X Wet Robot
XU-RSM 5330應用機型：
Ebara CMP Wet Robot
| 型式 | Repair | Overhaul | Exchange |
| Yaskawa XU-RSM 53D0 | | | |
| Yaskawa XU-RSM 5330 | | |