產品名稱：MAG7 Armset
產品編號：6030006
產品介紹
MAG7 Armset_Lam 200/300應用機型：
Lam_200mm
Lam_300mm
MAG7 Armset_NVLS 200/300應用機型：
Novellus_CVD _200mm
Novellus_CVD _300mm
| 型式 | Repair | Overhaul | Exchange |
| Brooks MAG7 Armset_NVLS 200 |  | | |
| Brooks MAG7 Armset_NVLS 300 | | | |
| Brooks MAG7 Armset_Lam 200 | | | |
| Brooks MAG7 Armset_Lam 300 | | |