ATM-105應用機型：
KLA_OP2000、Thermawave、August 量測機台

ATM-107應用機型：
KLA_Tencor量測機台

ATM-107B應用機型：
ASTI_Sorter

WTM-107B應用機型：
IPEC_CMP_776、Momentum_R1&R2