ATM-405應用機型：
KLA_量測機台

ATM-407應用機型：
KLA_Surfscan、AMAT Producer

ABM-405應用機型：
AMAT_Producer、AMAT_Quantum、OP

ABM-407應用機型：
Rudolph_量測機台

ABM-407B應用機型：
KLA_量測機台