設備監控與優化

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設備監控與優化 2018-07-03T16:27:46+00:00

公司專案改善團隊擁有卓越的機電核心能力及堅實的機電實務經驗,能提供客戶在設備升級及監控系統上的全方面協助,從諮詢、規劃、設計製作、現場安排、售後服務,提供客戶全方位服務。

一、機械手臂點位監控系統  (中華民國102 第I388951號發明 專利名稱: 偵測系統及偵測方法)

本系統是針對機械手臂或要求精密定位的運動機構所設計的監控系統,因為機械手臂內是由許多的主被動元件所組成,及馬達、皮帶、皮帶輪、軸承及滾珠軸桿等,上述元件其實皆為消耗品,使用一段時間後一定會有磨損甚至損壞情形發生,假設皮帶皮待磨損或斷裂是必會造成末端手臂座標錯誤而可能會使單片或連續Wafer損壞。本系統為即時監控手臂末端空間座標值,若測量出距離超初設定的誤差值時,可警示注意甚至可啟動機台中斷機制以防止晶圓片大量報廢。

二、流量監控系統

液體流量在高科技是極為重要但也是容易被疏忽的一塊,也是常造成大量報廢的主因之一,本公司依客戶要求不同以開發多種Slurry/Chemical/DI 流量監控機制,可依客戶實際需求及預算客制設計,功能強大且可靠度高,在半導體大廠已安裝運作多年,成效深獲客戶好評。

三、HEPA壓差監控系統

現在半導體廠對於潔淨度的要求也特別高,機台本身的設計其實就是一個小型潔淨室,每個區域都有不同的壓差,但缺乏周嚴的監控機制,以致當異常發生時經常造成產品異常,嚴重是會造成大量報廢,本監控系統可針對潔淨區壓差、風扇轉速等加以監控,介面人性化設計,簡單明瞭,可自行設定警示門檻,完全符合客戶的需要。

四、其他各式監控系統或自動化設備開發

針對機台設備上的開迴路或監控不足的問題,街是我們有能力可解決及服務項目,本公司累積至目前已安裝至少上千台的監控系統,與凡流量、壓力、溫度、轉速、漏液等等,為客戶帶來的效益非常顯著。除了監控系統外對於自動化設備開發亦是公司的營業項目之一。歡迎諮詢比較。

改善案例

本系統為即時監控手臂末端空間座標值,若量測出距離超出設定的誤差值時,可警示注意甚至可啟動機台中斷機制以防止Wafer損傷。
RMS-Real time(即時監控)適用於各式Robot之即時監控,不需更改Robot或機台程式,亦不會影響產能。

客戶需求:線材延長三倍壽命,以減少Tool down更換時間(線材由平均壽命8個月延長至24個月)

解決方式:改變Y Cable繞法, 優化C Cable材質,使用機構套筒鎖定線的動向,減少磨耗,進而延長線材壽命。

客戶需求:在不改變機台情況下,更改Robot馬達型號增加10%的產出。

解決方式:更改Robot內部Z軸馬達與驅動器以加快Robot速度,進而增加產出。

客戶問題:ASML NXT Tool原廠BCR 設計出現光罩上條碼有漏碼、掉碼及無法辨識等問題

解決方式:重新更新製作NEW BCR(無掉碼、漏碼問題)